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NIST SRM 2000 高分辨率 X 射線(xiàn)衍射

產(chǎn)品時(shí)間:2023-02-20

簡(jiǎn)要描述:

NIST SRM 2000 高分辨率 X 射線(xiàn)衍射(標(biāo)準(zhǔn)品)為高分辨率 X 射線(xiàn)衍射 (HRXRD) 社區(qū)提供了國(guó)際單位制 (SI) [1] 可追溯的 Si (220) 透射間距、表面到晶面晶片我們的參考波長(zhǎng)在反射中的誤切和表面到硅 (004) 布拉格角


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標(biāo)準(zhǔn)參考材料® 2000

高分辨率 X 射線(xiàn)衍射校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)


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     NIST SRM 2000 高分辨率 X 射線(xiàn)衍射本標(biāo)準(zhǔn)參考材料(SRM)為高分辨率X射線(xiàn)衍射(HRXRD)社區(qū)提供了國(guó)際單位制(SI[1]可追蹤的SI220d間距,透射面到晶面晶片以及我們的參考波長(zhǎng)的反射中的表面到Si004)布拉格角。SRM 2000的一個(gè)單元包括標(biāo)稱(chēng)50 nm25 mm×25 mm×0.725 mm雙拋光(100)取向單晶Si樣品Si0.85Ge0.15外延層和25nm Si帽。這些認(rèn)證值可用于校準(zhǔn)HRXRD儀器。

 

              NIST SRM 2000 高分辨率 X 射線(xiàn)衍射1。SRM 2000認(rèn)證值

 

                        數(shù)量(a)認(rèn)證值擴(kuò)展不確定度(b),k=2時(shí)的U

 

                                                     dSRM 0.192 016 1 nm22.5°C時(shí))0.000 000 9 nm

 

                                    ξSRM 4.360 mrad 0.027 mrad

 

                                       fSRM360 mrad 16 mrad

 

                                                                                   xSRM1.534 mrad 0.072 mrad

 

                                                                                   ySRM 4.0810 mrad 0.019 mrad

 

                          θ表面,SRM0040.604 785 rad 0.000 076 rad

 

                                   (a) 數(shù)量的標(biāo)識(shí)見(jiàn)表2

 

                                   (b) 不確定度方法見(jiàn)[2-4]。


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